|
ÃèÊö: |
ÉîÛÚÊÐʯ½ð¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾ÊǼ¯¹«Ë¾×¨ÒµÎªÆû³µÐÐÒµ¡¢Ä£¾ßÐÐÒµ¡¢»úеÐÐÒµ¡¢µç×Ó°ëµ¼Ìå¼°Ì«ÑôÄܹâ·ü²úÒµµÈÌṩʯī²ÄÁϼ°Ïà¹ØµÄ¾«ÃÜʯīÖÆÆ·£¬Ì«ÑôÄܵç³Ø¹¤ÒÕÉ豸£¨PECVD£©ÓÃʯīÖÛ¼°°å¿ò¡¢¶à¾§¹èÖý¶§Â¯Èȳ¡¡¢C/C¸´ºÏ²ÄÁϺͱ£Î¸ôÈÈÓÃʯīձµÈ²úÆ·£¬²¢ÓÉרҵµÄʯī¹¤³ÌÍŶÓΪʯīӦÓÃÐÐÒµ¼°²úÆ·ÌṩÏàÓ¦µÄÓ¦Óü¼Êõ·þÎñ¼°¼¼Êõ¸üз½°¸£¬ÏÖÓз¢Ã÷¼°ÊµÓÃÐÂÐÍרÀû60Óà¼þ¡£Ê¯½ðÖÂÁ¦ÓÚ²ÄÁϼ¼Êõ¡¢Ó¦Óü¼Êõ¡¢¼Ó¹¤¼¼ÊõµÄ´´Ð£¬²»¶Ï£¨Ê¯Ä«ÖÆÆ·,ʯī¼Ó¹¤,ʯ½ðʯī,ʯīÖÆÆ·¶¨ÖÆ,ʯīÖÆÆ·Éú²ú³§¼Ò,ÉîÛÚÊÐʯ½ð¿Æ¼¼¹É·ÝÓÐÏÞ¹«Ë¾£© |